ช่วงสเปกตรัมจาก FUV ถึง NIR: 190-2100nm

UVISEL Plusสเปกโตรมิเตอร์โพลาไรซ์รูปไข่ให้การผสมผสานที่ดีที่สุดของโมดูลาร์และประสิทธิภาพสำหรับฟิล์มพื้นผิวและลักษณะอินเทอร์เฟซ

UVISEL Plus เป็นรุ่น Elliptical แบบคลาสสิกเพื่อความถูกต้องความไวเสถียรภาพมันใช้เทคโนโลยีการปรับเฟส PEM ซึ่งสามารถให้ความเสถียรและอัตราส่วนสัญญาณต่อเสียงรบกวนที่ดีขึ้นเมื่อเทียบกับเทคโนโลยีชิ้นส่วนหมุนเชิงกลช่วงสเปกตรัมตั้งแต่ 190nm ถึง 2100nm

UVISEL Plus รวม FastAcq ใหม่TMเทคโนโลยีการรวบรวมอย่างรวดเร็ว,การทดสอบตัวอย่างที่มีความละเอียดสูง (190-2100 nm) สามารถทำได้ภายใน 3 นาที,การสอบเทียบใช้เวลาเพียงไม่กี่นาที ด้วยอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ใหม่ การประมวลผลข้อมูลและโมโนโครมิเตอร์ความเร็วสูง เทคโนโลยี FastAcq สามารถให้ผู้ใช้มีความแตกต่างสูงและรวบรวมข้อมูลได้อย่างรวดเร็ว FastAcq ถูกออกแบบมาสำหรับลักษณะของฟิล์ม,เทคโนโลยีการปรับคู่สามารถมั่นใจได้ว่าคุณจะได้รับผลการทดสอบที่ยอดเยี่ยม

ลักษณะของเทคโนโลยีการปรับเฟสคือการปรับความถี่สูง 50 kHz กระบวนการรับสัญญาณไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว:

• ทดสอบมุมเอียงรูปไข่เต็มรูปแบบ Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• อัตราส่วนสัญญาณต่อเสียงรบกวนที่ยอดเยี่ยมจาก FUV ถึง NIR
• การเก็บข้อมูลที่รวดเร็วถึง 50 มิลลิวินาที / จุดเหมาะสำหรับการวิจัยพลวัตและการวัดออนไลน์

เมื่อเทียบกับการยอมรับสเปกโตรมิเตอร์โพลาไรซ์รูปวงรีแบบดั้งเดิมสำหรับการปรับองค์ประกอบการหมุน， โหมดการปรับเฟส UVISEL Plusความไวและความแม่นยำสูงในฟิล์มลักษณะ. ไม่เพียง แต่สามารถตรวจจับฟิล์มขั้วโลกหรืออินเทอร์เฟซที่ไม่สามารถสังเกตได้โดย elipsometer อื่น ๆ แต่ยังสามารถระบุฟิล์มหนา50μm

หลังจากทดสอบว่ามีการสะท้อนกลับเมื่อตัวอย่างโปร่งใสการทดสอบทำได้ง่ายและถูกต้องไม่จำเป็นต้องขูดหลัง

UVISEL Plus ยังได้รับการออกแบบด้วยอุปกรณ์เสริมและฟังก์ชั่นเสริมที่หลากหลายเพื่อให้ลูกค้าสามารถเลือกการกำหนดค่าที่เหมาะสมตามความต้องการและงบประมาณของแอพพลิเคชั่น เช่นจุดด่างดำสำหรับตัวอย่างรูปแบบ, เปลี่ยนมุมอัตโนมัติ, ตารางตัวอย่างอัตโนมัติ ฯลฯ

UVISEL Plus มีการออกแบบแบบแยกส่วนเพื่อขยายความยืดหยุ่น พร้อมใช้งานสำหรับออฟไลน์การวัดแบบตั้งโต๊ะ,นอกจากนี้ยังสามารถเชื่อมต่อกับอุปกรณ์เคลือบเพื่อทำการตรวจสอบออนไลน์

UVISEL Plus สามารถเลือกอินเตอร์เฟซการทำงานตามนิสัยหนึ่งคือDeltaPsi2ด้วยฟังก์ชั่นการสร้างแบบจำลองและการประมวลผลที่เหมาะสม อีกอันหนึ่งคือส่วนต่อประสานการทดสอบตัวอย่างอัตโนมัติที่มุ่งเน้นผู้ใช้ Auto Soft ซึ่งมีกระบวนการทำงานที่ใช้งานง่ายและใช้งานง่ายโดยผู้ที่ไม่ใช่มืออาชีพ

UVISEL Plus มาพร้อมกับเทคโนโลยี FastAcq เป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดในการวิจัยวัสดุและการประมวลผลจอแสดงผลแบบแบนไมโครอิเล็กทรอนิกส์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์สเปกตรัมทั่วไป Elliptimeter

UVISEL Plusเป็นเครื่องมือที่เหมาะสำหรับการวิจัยด้านวัสดุศาสตร์