เครื่องสแกนเส้นใยทังสเตนประสิทธิภาพสูง HITACHI SU3500
แนะนำผลิตภัณฑ์:
SU3500 ใช้ระบบออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์และระบบประมวลผลภาพแบบใหม่การออกแบบอคติหกที่ไม่เหมือนใครการไหลของลำแสงแรงดันต่ำได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้นความละเอียดช่วงสูญญากาศกว้างและต่ำเอื้อต่อการสังเกตตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าประเภทต่างๆโดยเฉพาะความเร็วอัตโนมัติและความถูกต้องของระบบปฏิบัติการง่าย 3 ขั้นตอนสามารถทำได้ไม่เพียง แต่เพิ่มความเร็วในการทำงาน แต่ยังสะดวกสำหรับผู้เริ่มต้นใช้งาน
คุณภาพของภาพที่สูงทังสเตนเส้นใยสแกนกระจกคุณภาพของภาพมากขึ้นไปอีกขั้น
รวบรวม "ความเฉลียวฉลาด" ของเทคโนโลยีขั้นสูงของฮิตาชิผ่านการปรับปรุงความสามารถในการวิเคราะห์และการทำงานของกระจกสแกนด้วยคุณภาพภาพที่สูง
SU3500 เครื่องสแกนไส้หลอดทังสเตนมีระบบออปติคัลอิเล็กทรอนิกส์แบบใหม่ที่ตระหนักถึง "ความละเอียด 7nm ของแรงดันไฟฟ้าที่เร่งความเร็ว 3kV" ซึ่งสามารถรับรู้ "ฟังก์ชั่นการสังเกตสเตอริโอแบบเรียลไทม์" ของการถ่ายภาพสเตอริโอแบบเรียลไทม์*1และ "UVD Ultra Sensitivity Variable Pressure Detector" ที่มีประสิทธิภาพในการตรวจจับสูงขึ้น*1。
มันเสนอมาตรฐานใหม่สําหรับการสังเกตและการวิเคราะห์
*1: เลือกเอง
Hitachi ประสิทธิภาพสูง Tungsten Filament สแกนกระจก SU3500 คุณสมบัติ:
(*2): เปรียบเทียบกับ Hitachi SEM S-3400Nความละเอียดที่สูงขึ้นเมื่อสังเกตแรงดันไฟฟ้าที่เร่งต่ำทำให้สามารถสังเกตรูปร่างที่ละเอียดอ่อนของพื้นผิว zui ของตัวอย่างและลดความเสียหายของตัวอย่างได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ระบบออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์และเทคโนโลยีการประมวลผลสัญญาณที่ได้รับการออกแบบใหม่ช่วยให้สามารถสแกนความเร็วสูงและสังเกตเสียงรบกวนต่ำ
เมื่อเทียบกับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนทั่วไปก่อนหน้านี้*2,ฟังก์ชั่นอัตโนมัติที่สั้นลง*3ประมาณ 11 วินาที
ด้วยรูปทรงที่ละเอียดอ่อนของ "UVD (Ultra-High Sensitivity Variable Pressure Detector)" ที่สามารถสังเกตพื้นผิวของตัวอย่างได้ดี*4
ด้วย "ฟังก์ชั่นการสังเกตสเตอริโอแบบเรียลไทม์" ซึ่งตระหนักถึงการถ่ายภาพสเตอริโอแบบเรียลไทม์*4
(*3): เวลาเปลี่ยนแปลงขึ้นอยู่กับสภาพการสังเกต
(*4): เลือกเอง
ข้อมูลจำเพาะ:
โครงการ |
คำอธิบาย |
|
| ความละเอียดอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิ | 3.0nm (แรงดันไฟฟ้าเร่ง = 30kV, WD = โหมดสูญญากาศสูง 5 มม.) | |
| 7.0nm (แรงดันไฟฟ้าเร่ง = 3kV, WD = โหมดสูญญากาศสูง 5 มม.) | ||
| Backscatter ความละเอียดอิเล็กทรอนิกส์ | 4.0nm (แรงดันไฟฟ้าเร่ง = 30kV, WD = โหมดสูญญากาศต่ำ 5 มม.) | |
| 10.0nm (แรงดันไฟฟ้าเร่ง = 5kV, WD = โหมดสูญญากาศสูง 5 มม.) | ||
| กำลังขยาย | 5-300,000 ครั้ง (อัตราคูณฟิล์มเนกาทีฟ*5) | |
| 7-800,000 ครั้ง (จอแสดงผลแสดงอัตราคูณ*6) | ||
| แรงดันเร่ง | 0.3 - 30kV | |
| ช่วงความดันตัวแปร | 6 - 650 ปา | |
| ขนาดตัวอย่างขนาดใหญ่ zui | เส้นผ่าศูนย์กลาง 200mm | |
| ตารางตัวอย่าง | เอ็กซ์ | 0 - 100 มม |
| Y | 0 - 50 มม | |
| Z | 5 - 65 มม | |
| R | 360° | |
| ที | -20° - 90° | |
| พื้นที่ที่สังเกตได้ | เส้นผ่าศูนย์กลาง 130 มม. (หมุนและใช้) | |
| ความสูงของตัวอย่างขนาดใหญ่ zui | 80 มม. (WD = 10 มม.) | |
| มาดาเต้ | มาตรฐาน 5 แกน | |
| ระบบออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์ | ปืนอิเล็กทรอนิกส์ | เส้นใยทังสเตนในการจัดตำแหน่ง |
| ไส้ติ่งวัตถุประสงค์ | ไส้ติ่งแบบเคลื่อนย้ายได้ 4 รู | |
| เครื่องตรวจจับ | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ Everhartthornley | |
| ความไวสูงเซมิคอนดักเตอร์กลับกระเจิงเครื่องตรวจจับอิเล็กทรอนิกส์ | ||
| EDX วิเคราะห์ WD | 10 มม. (มุมออก 35 °) | |
| การแสดงภาพ | ระบบปฏิบัติการ | หน้าต่าง® 7*7(อาจมีการเปลี่ยนแปลงโดยไม่ต้องแจ้งให้ทราบล่วงหน้า) |
| โหมดการแสดงผลภาพ | โหมดเต็มหน้าจอ (1280 × 960 พิกเซล) | |
| โหมดหน้าจอขนาดเล็ก (800 × 600 พิกเซล) | ||
| จอแสดงผลภาพคู่ (800 × 600 พิกเซล) | ||
| จอแสดงผลแบบสี่หน้าจอ (640 × 480 พิกเซล) | ||
| โหมดผสมสัญญาณ | ||
| ระบบไอเสีย | การดำเนินการ | ท่อไอเสียอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
| ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ | 210 ลิตร / วินาที× 1 | |
| ปั๊มเครื่องกล | 135L / นาที (162L / นาที, 60Hz) × 1 | |
(*2): ระบุอัตราการคูณในขนาดจอแสดงผล 127 มม. × 95 มม. (ขนาดภาพ 4 '× 5')
(*3): ระบุอัตราการคูณในขนาดจอแสดงผล 345 มม. × 259 มม. (พิกเซล 1280 × 960)
(*4):Windows ® เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Microsoft Corporation ในสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่น ๆ
ฟิลด์แอ็พพลิเคชัน:
1, ชีวการแพทย์
2 สุขอนามัยอาหาร
3, เซมิคอนดักเตอร์อิเล็กทรอนิกส์
4, การผลิตรถยนต์
5, พลังงานใหม่



